5-114.3自动化伺服减速机
由于离子轰击可有效改善沉积薄膜与基体的结合状况，因此注入与沉积两种技术自然而然地被人们有机地结合在一起，出现了增强沉积技术。尤其是等离子体浸没离子注入( smaimmersionIonIm ntation，PIII)在2世纪8年代提出来以后，很快出现了等离子体源离子注入与沉积技术( smaimmersionIonIm ntationandDeposition,PIIID)[6]。


行星齿轮减速机传动的主要特点如下
1、运动平稳、抗冲击和振动的能力较强 由于采用了数个结构相同的行星轮，均匀地分布于中心轮的周围，从而可使行星轮与转臂的性力相互平衡。同轴减速机同时，也使参与啮合的齿数增多，故行星齿轮传动的运动平稳，抵抗冲击和振动的能力较强，工作较可靠。
2、传动比较大，可以实现运动的与 只要适当选择行星齿轮传动的类型及配齿方案，便可以用少数几个齿轮而获得很大的传动比。在仅作为传递运动的行星齿轮减速机传动中，其传动比可达到几千。应该指出，行星齿轮传动在其传动比很大时，仍然可保持结构紧凑、质量小、体积小等许多优点。而且，它还可以实现运动的与以及实现各种变速的复杂的运动。



行走减速机常见问题--减速机出力太小出现的断轴问题除了由于减速机输出端装配同心度不好，而造成的减速机断轴以外，减速机的输出轴如果折断，不外乎以下几点原因。
　　首先，错误的选型致使所配减速机出力不够。有些用户在选型时，误认为只要所选减速机的额定输出扭矩满足工作要求就可以了，其实不然，一是所配电机额定输出扭矩乘上减速比，得到的数值原则上要小于产品样本的相近减速机的额定输出扭矩，二是同时还要考虑其驱动电机的过载能力及实际中所需工作扭矩。理论上，用户所需工作扭矩。一定要小于减速机额定输出扭矩的2倍。
　　尤其是有些应用场合必须严格遵守这一准则，这不仅是对减速机的保护，更主要的是避免减速机的输出轴就被扭断。这主要是因为，如果设备有问题，减速机的输出轴及其负载被卡住了，这时驱动电机的过载能力依然会使其不断加大出力，进而，可能使减速机的输出轴承受的力超过其额定输出扭矩的2倍而扭断减速机的输出轴。
　　其次，行走减速机在加速和减速的过程中，减速机输出轴所乘受瞬间的扭矩如果超过了其额定输出扭矩的2倍，并且这种加速和减速又过于频繁，那么 终也会使减速机断轴。考虑到这种情况出现的较少，故这里不再进一步介绍。



目前交流伺服系统已在很大范围内取代了直流伺服系统。在当代数控系统中，交流伺服取代直流伺服、软件控代硬件控制成为了伺服技术的发展趋势。由此产生了应用在数控机床的伺服进给和主轴装置上的交流数字驱动系统。随着微器和全数字化交流伺服系统的发展，数控系统的计算速度大大提高，采样时间大大减少。硬件伺服控制变为软件伺服控制后，大大地提高了伺服系统的性能。例如OSP-U10/U100网络式数控系统的伺服控制环就是一种高性能的伺服控制网，它对进行自律控制的各个伺服装置和部件实现了分散配置，网络连接，进一步发挥了它对机床的控制能力和通信速度。这些技术的发展，使伺服系统性能改善、可靠性提高、调试方便、柔性增强，大大推动了高精高速技术的发展。
　　另外， 传感器检测技术的发展也极大地提高了交流电动机调速系统的动态响应性能和精度。交流伺服电机调速系统一般选用无刷旋转变压器、混合型的光电编码器和值编码器作为位置、速度传感器，其传感器具有小于1μs的响应时间。伺服电动机本身也在向高速方向发展，与上述高速编码器配合实现了60m/min甚至100m/min的快速进给和1g的加速度。为保证高速时电动机旋转更加平滑，了电动机的磁路设计，并配合高速数字伺服软件，可保证电动机即使在小于1μm转动时也显得平滑而无爬行。

+<