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发布:2024/5/10 21:14:04

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以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内,再进行合炉,真空检漏[1]。整个过程非常缓慢,而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内。传统装料方法为炉前装料离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中装料时间(清炉结束到合炉)约为2h追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。其中具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封。新型热屏不仅起到导流筒的作用,了氩气流场,使单晶氧含量下降,而且热屏解决了大直径单晶生长中结晶潜热难以散发的问题,提高了拉晶速率,降低了生产成本。
本文由rxl,欢迎大家完善单晶炉热场的设计与单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚 速度与转速,保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶,而速度将直接影响到晶体的内在质量,而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场,不仅单晶生长顺利,而且品质较高;如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,

中频炉成套设备:长期各类钢铁厂 、铸造厂、轧钢厂、冶炼厂用中频炉、工频炉、电弧炉、电炉变压器、电抗器、电容器组、中频电炉、中频熔炼炉、中频感应炉、中频锻造炉、中频淬火炉、中频烧结炉、中频熔铝炉、中频熔钢炉、中频加热炉、中频透热炉等中频炉成套设备。

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    冶炼设备:长期各类炼铁炼钢高炉、转炉、熔铜炉、熔银炉、熔金炉、熔铝合金炉、熔不锈钢炉、熔硅炉、熔铝炉、熔铁炉、中频感应炉、不锈钢熔炼炉、中频熔炼炉、退火炉、冷扎机、热扎机、铸炼炉、平整机、拉矫机等冶炼设备。

    铸造设备:长期各类高频炉,氮化炉、渗碳炉、盐浴炉、真空加热炉、钎焊炉、高频电炉、中频电炉、感应炉、井式炉、熔铝炉、熔铜炉、电弧炉、辐射电炉、网带炉、台车炉、保温炉、罩式炉、退火炉、回火炉、淬火炉、推杆炉、焙烧炉、烧结炉、窑炉、硝盐炉、时效炉、管式炉、氨炉、坩锅电炉、熔炼炉、箱式炉、调质电炉、实验电炉、加热炉、锻造炉、连续炉、热风炉等铸造设备。

自主产权的控制软件采用视窗,作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具了工艺实时的。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。依据相对编号法,查到该所连接的另外设备的端子,然后再查出该端子所连接另外设备,直到查到直流电源的正负极或交流回路的火线和中性线为止。后把整个相关的回路都查出来,画成图后可分析连接是否符合动作原理。当想弄清展图上设备的位置时,则一是利用展图上的设备表的位置,然后去相应的图上查对。二是先弄清展图中的端子符号,哪些是屏柜端子排的端子。则从图中每个的设备端子上所标的编号如手上只有图或者发现图与展图的原理接线图无法对应时哪些是(保护或自动)装置的端子,然后直接去可能的屏柜,端子箱中查找。(7) 识图特殊问题的解决方法。

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