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并与炉内生成的 一氧化硅及杂质粉尘混合，由于单晶炉内的加热器和坩埚支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蚀所述石墨制成的器件且杂质粉尘易吸附在这些器 件上，从而影响了单晶炉的使用寿命。因此，在向单晶炉内不断充入氩气 的同时，还必须用真空泵将混合气体排出炉外，在排气时，混合气体流经 炉中的加热器，坩埚支持器等处，后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大。

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本系统还配置有工作站系统，用一台PC机可同时8台单晶炉，采用RS422高速通讯，光电隔离，可靠性高。(4) 电气硬件设置，本系统的电气柜内布局采用模块化集中管理，各个模块间连接简单，单个模块可以带电维修，电机保护采用空气关和丝结合的方法便于作和维护。同时主要的电气点都能简单的在端子板上查出。整个机箱布局合理，简单。同时带有双色声光报*灯进行提示。矿山用一字钎头和梅花钎头的焊接， 4，直径30以下螺栓的热变形， 5，直径30以下的螺母的热变形， 6，金属粉末重熔， 7，直径300以下链轮的热， 8。