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操作者观察窗口允许单晶直径测量范围大10”，氩气入口设置在炉盖的喉部。4、隔离阀座隔离阀座为双层水冷却结构，前圆后方，正前方设有一道圆门，可以通过圆门方便拆卸和更换籽晶夹头。圆门设有圆形观察窗。隔离阀座为隔离阀了及活动空间，隔离阀的作用是为籽晶或单晶进入副炉室的通道，同时可以维持上下炉室的局部压力和温度。隔离阀是翻板阀结构，阀板和阀体均是固定式双层结构，通水冷却。隔离阀座侧面设有两个籽晶位置检测窗口（激光），后部有一个氩气入口，可以实现快充氩气。5、副炉室副炉室为圆筒形腔体，双层结构，水冷却。副炉室上部前方设有一个圆形法兰，可以打用于腔体上部，法兰设有圆形观察窗。
避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现，某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时，提拉系统的软轴会出现明显的晃动，这个问题一直制约着晶体生长的质量和生产效率的提高。以前虽然提出过很多的解决措施，但其效果均不明显。本文拟采用有限元分析的方法，对单晶炉的提拉系统进行分析。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，