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发布:2024/5/2 6:38:19


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单晶炉,全自动直拉单晶生长炉,是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶硅炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如120、150等型号是由投料量决定,85炉则是指主炉筒的直径大小。单晶硅炉的主体构成由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。单晶硅片工艺流程硅,Si,地球上含硅的东西很多,好像90%以上都是晶硅的,也是单晶硅。太阳能级别的硅纯度6N以上可以了。始是石头,(石头都含硅),把石头加热,变成液态,再加热变成气态,把气体通过一个密封的大箱子,箱子里有N多的子晶加热,两头用石墨夹住,气体通过这个箱子,子晶会把气体中的一种吸符到子晶上,子晶慢慢变粗了,因为是气体变固体,所以很慢,一个月左右,箱子里有了很多长长的原生多晶硅。

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