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回收多晶硅铸锭炉+无锡北塘涡轮分子泵回收物流/提货派送

发布:2024/4/29 23:24:02


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本系统还配置有工作站系统,用一台PC机可同时8台单晶炉,采用RS422高速通讯,光电隔离,可靠性高。(4) 电气硬件设置,本系统的电气柜内布局采用模块化集中管理,各个模块间连接简单,单个模块可以带电维修,电机保护采用空气关和丝结合的方法便于作和维护。同时主要的电气点都能简单的在端子板上查出。整个机箱布局合理,简单。同时带有双色声光报*灯进行提示。

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并与炉内生成的 一氧化硅及杂质粉尘混合,由于单晶炉内的加热器和坩埚支持器等均由石 墨制成, 一氧化硅易腐蚀所述石墨制成的器件且杂质粉尘易吸附在这些器 件上,从而影响了单晶炉的使用寿命。因此,在向单晶炉内不断充入氩气 的同时,还必须用真空泵将混合气体排出炉外,在排气时,混合气体流经 炉中的加热器,坩埚支持器等处,后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大。 该二次增料装置的工作原理是:拉杆1可以在固定圈2和圈4内左右,当沿着竖直方向提起拉杆1时,拉杆1底部的锥形面与外简5相接触,此时,将块状硅料从固定圈2与外筒5之间的空隙中添加外筒5内,直添满,从而实现二次增料装置的装料;接着,提拉盛满块状硅料的二次增料装置单晶炉内,使支撑圈3与单晶炉内部的匹配部位相吻合,松提拉杆1,在硅料重力的作用下,拉杆1底部的锥面与外筒5相分离,此时拉杆1底部的锥面位置如虚线所示,块状硅料从外筒5与拉杆1底部锥面之间的空隙流人盛有熔融硅料的石英坩埚中,二次增料装置内的硅料自由下到单晶炉内的石英坩埚中,实现单晶炉的二次增料。

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