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回收旧单晶硅炉+金湖螺杆真空泵回收维修/保养

发布:2024/4/29 21:48:34
旧单晶硅炉金湖螺杆真空泵维修/保养W3/2O2=WO3(气态)。炉筒升降支撑采用双立柱设计上筒和上盖可以上升并向两边转动上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用,即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。自主产权的控制软件采用视窗,作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具了工艺实时的。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。一般为75~300mm,这个过程称为放肩,接着,突然提高拉速进行转肩作,使肩部近似直角,然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直径规格大小的单晶柱体,后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。

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该产品具有自投自复和自投不自复两种切换功能。此款为手动转换关。设计新颖,安全可靠、自动化程度高、使用范围广。EW45式智能断路器:主要用来分配电能和保护线路及电源设备免受过载、短路、欠电压、单相接地等故障的危害,该断路器具有多种智能保护功能,可选择性保护,且动作,避免不必要的停电,提高供电可靠性和安全性。欠电压脱扣器:欠电压脱扣器是在它的端电压降某一规定范围时,使断路器有延时或无延时断的一种脱扣器,当电源电压下降(甚缓慢下降)到额定工作电压的70%35%范围内,欠电压脱扣器应运作,欠电压脱扣器在电源电压等于脱扣器额定工作电压的35%时,欠电压脱扣器应能防止断路器闭合;电源电压等于或大于85%欠电压脱扣器的额定工作电压时,在热态条件下,应能保断路器可靠闭合。因此,当受保护电路中电源电压发生一定的电压降时,能自动断断路器切断电源,使该断路器以下的负载电器或电气设备免受欠电压的损坏。使用时,欠电压脱扣器线圈接在断路器电源侧,欠电压脱扣器通电后,断路器才能合闸。 [1]

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直接有效的方法是提高生产时效,增加单炉的月产能。笔者长期从事单晶生产工作,经调研与现场试验,采用离线装料技术不仅可以缩短运行周期,提高工作效率,而且可以确保坩埚内所装硅料的洁净度,具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,单晶炉简介编辑单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

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