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发布:2024/4/28 16:15:25


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直拉法,也叫切克劳斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法,用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单,容易实现自动控制,生产效率高,易于大直径单晶,容易控制单晶中杂质浓度,可以低电阻率单晶。据统计,上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。

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离子注入等手段,可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展,使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于,工业,农业和 ,甚悄悄进入每一个家庭。硅片利用介绍硅片再利用是一种从中分离出来的有用物质经过物理或机械成为再利用的如废玻璃,废金属。通过对硅片进行光刻硅片是集成电路的重要材料硅片,废电池片的再利用指以将再次生产的方式。99%以上的集成电路是硅集成电路。生产集成电路所需要的单晶硅 ,是在硅结晶生长始时 ,用低速提拉,生长过程均速提拉的法制成的。提拉速度的控制性能将直接影响到晶体的质量。当今 ,随着 IT产业的迅速发展 ,单晶硅生产市场需求剧,研制一种满足工艺要求,低成本的提拉速度控制系统具有重要的实际意义。在半导体材料中用量大和用途广的是半导体硅。当今 95 %以上的半导体器件是用硅材料的 一种实用的单晶炉提拉速度控制系统\前言半导体材料是半导体工业的基础材料 本文结合某单晶炉产品的研制 经折算后 (见下节式 ( 3) )。

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