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发布:2024/4/27 2:46:51


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通过石墨加热器产生的高温将其熔化,然后,对熔化的硅液稍降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面,待籽晶与熔体熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶体便会在籽晶下端生长,接着,控制籽晶生长出一段长为100mm左右,直径为3~5mm的细颈,用于高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错,这个过程是引晶,随后。原理编辑首先放大晶体直径到工艺要求的大小。把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚。

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这使得硅片已广泛应用于,工业,农业和 ,甚悄悄进入每一个家庭。硅片利用介绍硅片再利用是一种从中分离出来的有用物质经过物理或机械成为再利用的如废玻璃,废金属。通过对硅片进行光刻硅片是集成电路的重要材料硅片,废电池片的再利用指以将再次生产的方式。单晶硅生长炉(TDR85/95/105-JN)国外以美国KAYEX为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前上大,的硅单晶体生长炉商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。太阳能光伏发电站和风力发电站的相关设备。具有自主知识产权 JN)其中硅单晶生长炉设备有两大系列三个品种该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。特点编辑HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动。便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计。即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。自主产权的控制软件采用视窗,操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具了工艺实时的。可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选,保控温精度。质量流量计控制氩气流量。维护方便全自动控制系统采用模块化设计高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。

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