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发布:2024/4/27 1:16:22


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直接将断路器作手柄凸出到内门外,柜门上直接断路器作手柄,柜外作,采用固定分隔柜,水平母线室与单元之间,单元与单元之间加隔离防护,采用抽屉柜,单元与母线室,接线端子完全隔离。

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加热器4,加热器4的形状为常见的笼形;且可减少热 能及氩气消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是一种直拉式单晶生长炉,其包括 氩气输入管,与氩气输入管相连通的环形气体分布器,其特征在于经氩 气输入管输入的氩气气压为0. 8xl03Pa0. 9xl03Pa,氩气流量为 30L/min。上述技术方案中。本发明的目的是一种易于及时排出炉内的混合气体发明内容还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和 该部的排气口之间的气流导向装置以防止 因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气抗氧化(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中整个炉内的一氧化硅与氩气的混合气体(包 括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外本发明的气流导向装置的一对通气孔与该炉的 一对排气口相 对设置,缩短了排气管路,利于提高排气效率。

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