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回收旧单晶硅炉+温州龙湾离子泵回收的电话

发布:2024/4/26 9:01:03
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无泄露,长期使用不需充磁,精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件,确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试,高速旋转下籽晶晃动小于2mm,适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱,双滚动直线,精密滚珠丝杠以及进口等能件组合设计,确保坩埚系统在超重超低速工况下长期平稳运行。籽晶轴旋转及提拉密封均采用高品质的磁流体密封组件提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性浮动式翻板阀设在主副炉室之间。进一步地,所述侧反射屏6、下反射屏7为钨钼反射屏或者钨反射屏。钨钼反射屏中钨的质量占比50%。相比钼反射屏,钨钼反射屏和钨反射屏高温挥发的可能性更低,更加不容易产生挥发物沉积。

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单晶生长顺利,而且品质较高,如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资单晶生长企业的前期。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,所有腔体都经过缺陷炉室检查和探伤检验,并且经过0.6MPa水压试验和氦质谱检漏仪检漏。一、主炉体构造1、基座与板板设计成平板式,具有双层结构,通水冷却。四只电极穿过底板,在坩埚提升机构的波纹管连接处有一个水冷却法兰区。2、主、下炉室主、下炉室为双层筒状结构,两端为法兰结构,通水冷却,并有隔水条保冷却均匀。主炉室设置了一个测温计窗口,用于测量加热器温度。下炉室有抽真空和真空计接口(0~100Torr和0~1Torr)。下炉室在正常操作过程中始终用压板固定在板上,通过氟橡胶O型圈实现真空密封。3、炉盖炉盖为炉体和隔离阀座了一个过渡区。炉盖采用标准炉盖,双层通水冷却。在炉盖上设有一个操作者观察窗口(类椭圆形)和一个直径控制窗口(圆形)。

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