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主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能，可以大致分为加热系统，传热及支撑系统，导流系统，保温系统等。并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料如加热系统包括加热器直接影响了拉晶生产是否能顺利进行机械等各个领域内的知识2加热器的工作原理与使用要求。4，我们的软件设备通过485或USB接口与计算机互联，可实现单台或者多台电炉远程控制，实时 ，历史记录，输出报表等功能，可无纸记录装置，实现数据的存储，输出，5。炉采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，提高了使用寿命，2，可抽真空，并能通入多种保护气氛（易，强腐蚀性气体除外），3，超压自动泄压，超温并断电，漏电保护。

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以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内，再进行合炉，真空检漏[1]。整个过程非常缓慢，而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内。传统装料方法为炉前装料离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中装料时间(清炉结束到合炉)约为2h追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。其中具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封。新型热屏不仅起到导流筒的作用，了氩气流场，使单晶氧含量下降，而且热屏解决了大直径单晶生长中结晶潜热难以散发的问题，提高了拉晶速率，降低了生产成本。根据权利要求2所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流 导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。4， 根据权利要求2或3所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述 气流导向装置(20 )的电极孔(2-2 )分别与该炉的电极柱(15 )密封连接。5， 根据权利要求4所述的直拉式单晶生长炉。