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发布:2024/4/19 6:35:59


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无泄露,长期使用不需充磁,精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件,确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试。籽晶轴旋转及提拉密封均采用高品质的磁流体密封组件提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性高速旋转下籽晶晃动小于2mm浮动式翻板阀设在主副炉室之间并便于机动取出晶体。本系统的电气柜内布局采用模块化集中管理,各个模块间连接简单,单个模块可以带电维修,电机保护采用空气关和丝结合的方法便于操作和维护。同时主要的电气点都能简单的在端子板上查出。加热器短路,加热器电阻突变,人工输入失误等错误。(3)工作站系统,本系统还配置有工作站系统,用一台PC机可同时8台单晶炉,采用RS422高速通讯,光电隔离,可靠性高。

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也叫切克劳斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。再由齿轮齿条机构带动的。在单晶炉中,要求提拉单晶硅的提拉杆不仅能以某一期望线速度V向上(下)运动,而且当提拉负载增大引起线速度为零时,提拉杆能保持其后位置而不上下滑动。对晶体的提拉速度有十分严格的要求,从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。对提拉控制系统提出的主要技术指标是,提拉速度在0.2~10.0mm/h范围之内实现无级可调,线性精度大于±2%。生产集成电路所需要的单晶硅,是在硅结晶生长始时。据统计,上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。目前晶体生长设备的现状\江南电力光伏科技有限江南电力光伏科技有限。容易实现自动控制,生产效率高。直拉法易于大直径单晶引进消化吸收国外技术研发环保清洁可再生新能源产品——太阳能光伏发电站和风力发电站的相关设备。也叫切克劳斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法,用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单其中硅单晶生长炉设备有两大系列三个品种装料量从95Kg~150Kg,可拉制6"~12"电路级和太阳能级单晶硅棒。直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000,CG6000,KAYEX100PV,KAYEX120PV,KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg。

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