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用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。购技术主要要求1.单晶炉装料量（单台机产能多少） 2. 能拉多长，几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质（少子寿命，电阻率，碳氧含量，位错密度） 5设备工艺控制保 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。单晶炉型号定义\单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。氦气为主）环境中单晶炉简介编辑/单晶炉是一种在惰性气体（氮气比如8 是由装料量来决定的\单晶炉主要需要控制的方面一，晶体直径（尺寸）二，温度（率控制）三，原料（硅料）四，泄漏率，氩气质量等\本文由rxl，欢迎大家完善。

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观察窗 抽真空管道 组成/炉筒：包括取光孔下炉筒：包括抽真空管道/底座机架：全铸铁机架和底座/坩埚下传动装置：主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成/分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管。翻板阀单晶炉构成编辑=提拉头：主要由盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成/副室：主要是副室筒以及上下法兰组成/ 炉盖：副室连接法兰若干胶管 水管卡套等/氩气管道布置：质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等/电源以及电控柜：电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线。进一步地，所述真空部件12的数量为两个，对称设置。蓝宝石单晶炉中温场的分布、控制是关重要的，对于单晶炉所的改动，均要注意保持均衡，不然容易改变温场的分布，进而造成扩肩不均、粘锅等不利影响。