多晶硅铸锭炉清河螺杆真空泵维修/保养质量要求的好法。面向过程的软件FEMAG为用户了可以深入研究的数值工具，用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的计算。控制电器，仪表和信号等设备大多可被电脑控制系统及电子组件所取代，但在小型设备和地局部控制的电路中仍有一定的应用范围。这也都是电路实现微机自动化控制的基础。系统组成常用的控制线路的基本回路由以下几部分组成。1，电源供电回路：供电回路的供电电源有ac380v和220v等多种，2，保护回路：保护(辅助)回 4v等多种。传统的作组件在设备作与监视当中对电气设备和线路进行短路，过载和失压等各种保护，由熔断器，热继电器，失压线圈，整流组件和稳压组件等保护组件组成。

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为了解决这两个问题造价昂贵对新型热屏和矮加热器对晶体生长的影响进行了系统的理论分析和实验验工作。结果表明。比较复杂，因此很多使用的加热器都存在种种先天缺陷，造成使用时发热不足，打火，变形过大，寿命过短等问题。下文将从加热器的使用要求入手，分析加热器的设计。以及晶棒的拉速和品质。而石墨加热器作为加热系统的核心部件，通过自身发热作为整个热场的热量来源，因此也是整个热场中为核心的部件。而加热器的设计需要综合考虑热学，力学，电学。石墨电极，连接螺栓等部件，传热及支撑系统包括石墨坩埚，石英坩埚，托盘，坩埚轴等部件，导流系统包括导流筒等部件，保温系统包括保温盖，保温筒，保温炭毡等部件。热场温度区域的分布。自主产权的控制软件采用视窗，作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具了工艺实时的。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。