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该气流导向装置为碗形，其包括 设于气流导向装置底部的中轴孔，设于所述中轴孔两侧的 一对电极孔， 以及设于所述中轴孔两侧并与该炉的排气口相对的通气孔，该炉的石墨中 轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，该炉的 一对电极柱分别穿过所述电极 孔，该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上 端部设于该炉的保温筒与发热体之间。所述气流导向装置的中轴孔与该炉的石墨中轴活动密封连接。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，