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直径偏差在单晶全长 0，KAYEX100PV，KAYEX120PV，KEYEX150，Vision300型，投料量分别为30kg。已成为半导体行业使用多的品牌。美国国外以美国KAYEX为代表该生长的硅晶体生长炉从抽真空－检漏－熔料－引晶－放肩－等径－收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前上大，的硅单晶体生长炉商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场晶 00kg。提高稳定性。支撑柱在炉体支撑的上面，便于下面设备的维护。99%以上的集成电路是硅集成电路。生产集成电路所需要的单晶硅 ，是在硅结晶生长始时 ，用低速提拉，生长过程均速提拉的法制成的。提拉速度的控制性能将直接影响到晶体的质量。当今 ，随着 IT产业的迅速发展 ，单晶硅生产市场需求剧，研制一种满足工艺要求，低成本的提拉速度控制系统具有重要的实际意义。在半导体材料中用量大和用途广的是半导体硅。当今 95 %以上的半导体器件是用硅材料的 一种实用的单晶炉提拉速度控制系统\前言半导体材料是半导体工业的基础材料 本文结合某单晶炉产品的研制 经折算后 (见下节式 ( 3) )。