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发布:2024/5/4 16:34:18 来源:shxj365


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精度高,稳定性好。且具有以下特点:温度自动控制系统\电机调速控制系统\单晶直径自动控制系统\单晶熔体自动 系统\单晶重量及长度显示能\各拉晶有关参数包括籽晶轴,坩埚轴的转动速度,晶升和埚升速度,炉内压力,冷却部位温度等数据都采用数字显示仪表指示,两笔记录仪记录温度和籽晶拉速,能稳定的控制生长直径5~8英寸,直径均匀的无错位单晶。采用软籽晶轴,具有独特的晶体提升机构。的磁流体密封技术。能全电控系统采用微机控制新型翻板阀结构,拱形封头式炉盖结构,考虑热变形采用浮动提升结构,防止卡死现象。单晶提拉采用可承受150Kg不锈钢丝软轴,电控系统采用微机控制,红外测径技术,进口电动及驱动器,保生长大扭矩高稳定性。

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本文拟采用有限元分析的方法,对单晶炉的提拉系统进行分析。会严重地影响单晶体的内在品质。因此,避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现,某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时。不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化,造成有效分凝系数的变动,导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀,引起对流情况不稳定,导致生长时固液界面过冷度的变化。目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约,单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要旋转运动,又要上升运动,同时还要保持速度稳定。单晶炉是人工晶体的专用设备基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料对中性好为枝晶生长条件[1]提拉系统的软轴会出现明显的晃动找出引起提拉系统软轴晃动。定时器/计数器,watchdog等组成。数字核心的主流为嵌入式微控制器(mcu),即通常所说的单片机,输入输出通道包括模拟量输入通道(模拟量输入变换回路(将ct,pt所测量的量转换成更低的适合内部a/d转换的电压量,±2.5v,±5v或±10v),低通滤波器及采样,a/d转换)和数字量输入输出通道(人机接口和各种告信号,跳闸信号及电度脉冲等)。运行原理电气系统微机保护装置的数字核心一般由cpu。存储器。

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