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整个炉内不存在排气 不畅的地方，即不存在排气死角，既有效地防止了一氧化硅气体对加热器 和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀，还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉 尘减少30%以上，从而确保了该炉的使用寿命，使所述石墨器件的使用寿 命从原来的90炉次提高11G炉次以上，另外还可对硅晶体的生长过程起 到稳定作用，使平均成品率从原来的65%提高68%以上，并可提高单晶 的内在质量。
与氩 气输入管12相连通的环形气体分布器11，其特征在于经氩气输入管12 输入的氩气气压为0. 8 x 103Pa0. 9 x 103Pa，氩气流量为30L/min。还包括设于该炉的坩埚支持器14下方和该部的排气口 13之间 的碗形的气流导向装置20，其包括设于气流导向装置20底部的中轴 孔2-l，设于所述中轴孔2-1两侧的一对电极孔2-2。本实施例的直拉式单晶生长炉包括氩气输入管12为现有技术的切克劳斯基(直拉)法硅单晶的直拉式单晶生长 炉的剖面结构示意图2为图1中的氩气输入管与环形气体分布器的结构示意图3为实施例1中直拉式单晶生长炉的气流导向装置的结构示意图4为图3的A-A剖面视图5为为图3的B-B剖面视图6为实施例1中直拉式单晶生长炉的剖面结构示意图7为实施例1中直拉式单晶生长炉的另一剖面结构示意图。具体实施方式以及设于所述中轴孔 2-1两侧并与该炉的排气口 13相对的通气孔2-3，该炉的石墨中轴21穿过所述气流导向装置20的中轴孔2-1，该炉的一对电极柱15分别穿过所述电 极孔2-2，该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通，气 流导向装置20的上端部2-4设于该炉的保温筒17与发热体16之间。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，
中频炉成套设备：长期各类钢铁厂 、铸造厂、轧钢厂、冶炼厂用中频炉、工频炉、电弧炉、电炉变压器、电抗器、电容器组、中频电炉、中频熔炼炉、中频感应炉、中频锻造炉、中频淬火炉、中频烧结炉、中频熔铝炉、中频熔钢炉、中频加热炉、中频透热炉等中频炉成套设备。
冶炼设备：长期各类炼铁炼钢高炉、转炉、熔铜炉、熔银炉、熔金炉、熔铝合金炉、熔不锈钢炉、熔硅炉、熔铝炉、熔铁炉、中频感应炉、不锈钢熔炼炉、中频熔炼炉、退火炉、冷扎机、热扎机、铸炼炉、平整机、拉矫机等冶炼设备。
铸造设备：长期各类高频炉，氮化炉、渗碳炉、盐浴炉、真空加热炉、钎焊炉、高频电炉、中频电炉、感应炉、井式炉、熔铝炉、熔铜炉、电弧炉、辐射电炉、网带炉、台车炉、保温炉、罩式炉、退火炉、回火炉、淬火炉、推杆炉、焙烧炉、烧结炉、窑炉、硝盐炉、时效炉、管式炉、氨炉、坩锅电炉、熔炼炉、箱式炉、调质电炉、实验电炉、加热炉、锻造炉、连续炉、热风炉等铸造设备。
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