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所以拉晶实验成本太高。而采用有限元法数值模拟是一种优化单晶炉设计的重要工具。本文对采用矮加热器的复合式热场进行了数值模拟，得到了氩气流场分布图和热场温度分布图。对新型热屏和矮加热器对晶体生长的影响进行了系统的理论分析和实验验工作。结果表明，新型热屏不仅起到导流筒的作用，了氩气流场，使单晶氧含量下降，而且热屏解决了大直径单晶生长中结晶潜热难以散发的问题，大大提高了拉晶速率，降低了生产成本。

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为了解决这两个问题造价昂贵对新型热屏和矮加热器对晶体生长的影响进行了系统的理论分析和实验验工作。结果表明。比较复杂，因此很多使用的加热器都存在种种先天缺陷，造成使用时发热不足，打火，变形过大，寿命过短等问题。下文将从加热器的使用要求入手，分析加热器的设计。以及晶棒的拉速和品质。而石墨加热器作为加热系统的核心部件，通过自身发热作为整个热场的热量来源，因此也是整个热场中为核心的部件。而加热器的设计需要综合考虑热学，力学，电学。石墨电极，连接螺栓等部件，传热及支撑系统包括石墨坩埚，石英坩埚，托盘，坩埚轴等部件，导流系统包括导流筒等部件，保温系统包括保温盖，保温筒，保温炭毡等部件。热场温度区域的分布。直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要 0PV，KAYEX120PV，KEYEX150，Vision300型，投料量分别为30kg。