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使含有一氧化硅的氩气气体的气流经密封导气装置的导气管 及排气口，在真空泵的作用下，排出炉外。密封导气管装置由导气管，底 座，密封环，排气口所组成，在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体 不能有效的排出，从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀， 影响单晶炉的使用寿命。其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和保 公了 一种直拉硅单晶炉热场的气流控制方 法及装置且其向炉内充入氩气时的充气气压在1. 3xi03Pa 以上，导致其氩气流量较大，故而氩气消耗量大，生产成本较高。
质量要求的好法。面向过程的软件FEMAG为用户了可以深入研究的数值工具，用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的计算，优化设计单晶炉的机械结构，在拉晶过程中以结果设定合理的理论拉晶曲线可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶硅棒。利用电脑计算的详尽，用以支持真正的（且昂贵）实验。由于数值模拟了一个近似真实的过程，利用这一技术可以很容易的对任何类型的变化（几何尺寸，保温材料，加热器，环境等）对晶体质量的影响出容易的判断。数值是用来获得廉价的，完整的和细节的结晶过程，以此方法用来预测晶体生长，改善晶体生长技术。举例来说，对于无经验人员，可以形象化展示熔体流动的历史点缺陷和热应力细节。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，