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这是单晶炉和拉晶工艺。为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤，th3orum级的基础上跳跃到12公斤，680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计。
接线方式编辑断路器的接线方式有板前、板后、插入式、抽屉式，用户如无特殊要求，均按板前供货，板前接线是常见的接线方式。1、板后接线方式：板后接线大特点是可以在更换或维修断路器，不必重新接线，只须将前级电源断。由于该结构特殊，产品出厂时已按设计要求配置了专用板和螺钉及接线螺钉，需要特别注意的是由于大容量断路器接触的可靠性将直接影响断路器的正常使用，因此时必须引起重视，严格按厂要求进行。2、插入式接线：在成套装置的板上，先一个断路器的座，座上6个插头，断路器的连接板上有6个插座。座的面上有连接板或座后有螺栓，座预先接上电源线和负载线。使用时，将断路器直接座。如果断路器坏了，只要拔出坏的，换上一只好的即可。它的更换时间比板前，板后接线要短，且方便。由于插、拔需要一定的人力。因此的插入式产品，其壳架电流限制在大为400A。从而节省了维修和更换时间。插入式断路器在时应检查断路器的插头是否压紧，并应将断路器安全紧固，以减少接触电阻，提高可靠性。3、抽屉式接线：断路器的进出抽屉是由摇杆顺时针或逆时针转动的，在主回路和二次回路中均采用了分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，