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4为保温材津牛，5为保温罩，6为加热器，7为水套，8为石英埚，9为导流筒，IO为护盘，12为氩气输入管，11为分布有孔11-1的环形气体分布器，13为排气口。技术领域：本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术：图1为切克劳斯基(直拉)法硅单晶的单晶炉剖面示意图，图1-2中，l为炉筒，2为保温盖。名称：直拉式单晶生长炉的方法直拉式单晶生长炉的方法3为保温盖直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入氩气从而影响了单晶炉的使用寿命。因此上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大氩气流量为40L/min，因此其氩气消耗量大，生产成本较高。影响单晶炉的使用寿命。且其向炉内充入氩气时的充气气压在1.3xi03Pa以上，导致其氩气流量较大，故而氩气消耗量大，生产成本较高。主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能，可以大致分为加热系统，传热及支撑系统，导流系统，保温系统等。并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料如加热系统包括加热器直接影响了拉晶生产是否能顺利进行机械等各个领域内的知识2加热器的工作原理与使用要求。4，我们的软件设备通过485或USB接口与计算机互联，可实现单台或者多台电炉远程控制，实时 ，历史记录，输出报表等功能，可无纸记录装置，实现数据的存储，输出，5。炉采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，提高了使用寿命，2，可抽真空，并能通入多种保护气氛（易，强腐蚀性气体除外），3，超压自动泄压，超温并断电，漏电保护。