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包括设于该炉顶部并伸入炉内的氩气输入管(12)，与氩气输入管(12)相连通的环形气体分布器(11)，其特征在于经氩气输入管( 103Pa，氩气流量为30L/min。2， 根据权利要求1所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于还包括 设于该炉的坩埚支持器(14)下方和该部的排气口 (13)之间的气流 导向装置(20)。一种直拉式单晶生长炉权利要求1该气流导向装置(20)为碗形气 流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16) 之间。3其特征在于所述气流 导向装置(20)的上端部(2-4)的外壁与该炉的保温筒(17)密封连接。6， 根据权利要求5所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流 导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口 (13)通过通气管(19) 相连通。7， 根据权利要求6所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流 导向装置(20)由石墨制成。
本系统还配置有工作站系统，用一台PC机可同时8台单晶炉，采用RS422高速通讯，光电隔离，可靠性高。(4) 电气硬件设置，本系统的电气柜内布局采用模块化集中管理，各个模块间连接简单，单个模块可以带电维修，电机保护采用空气关和丝结合的方法便于作和维护。同时主要的电气点都能简单的在端子板上查出。整个机箱布局合理，简单。同时带有双色声光报*灯进行提示。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，