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单晶炉主要技术指标： 单晶炉加热电源是一种大功率直流电源，要求输出功率lOOkW，输出电压为0-5V可调，输出电流为0-3000A；其输出的能量可直接为单晶炉内的石墨加热器供热，加热温度范围为o～2000℃，控温精度要求达到±5℃；各种信号可自动检测、显示，参数的修改和设定可通过按键进行，以此来满足单晶硅在生长阶段对温度的严格要求。

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自主产权的控制软件采用视窗，作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具了工艺实时的。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。 在自主设计的定向凝固设备中进行，熔炼、浇注与定向凝固均在真空环境中进行，由真空系统、熔炼系统和定向凝固系统组成。真空系统由机械泵和扩散泵两级系统组成，熔炼装置采用电磁感应熔化，定向凝固采用水冷铜底座实现。