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进一步地，所述真空部件12设有除尘系统。当挥发物产生后，到达一定浓度时，抽真空，将挥发物从炉体内抽走，尽可能地不让挥发物接触、粘附到观察窗上；之所以设置除尘系统，是因为挥发物中含有的均是金属氧化物，不及时的话，容易堵塞真空部件的元器件，不利于连续生产。

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放大晶体直径到工艺要求的大小，一般为75～300mm，这个过程称为放肩，接着，突然提高拉速进行转肩操作，使肩部近似直角，然后，进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度。用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。购技术主要要求1.单晶炉装料量（单台机产能多少） 2. 能拉多长，几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质（少子寿命，电阻率，碳氧含量，位错密度） 5设备工艺控制保 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。单晶炉型号定义\单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。氦气为主）环境中单晶炉简介编辑/单晶炉是一种在惰性气体（氮气比如85 由装料量来决定的\单晶炉主要需要控制的方面一，晶体直径（尺寸）二，温度（率控制）三，原料（硅料）四，泄漏率，氩气质量等\本文由rxl，欢迎大家完善。