旧单晶硅炉虎丘控制柜的电话操作者观察窗口允许单晶直径测量范围大10”，氩气入口设置在炉盖的喉部。4、隔离阀座隔离阀座为双层水冷却结构，前圆后方，正前方设有一道圆门，可以通过圆门方便拆卸和更换籽晶夹头。圆门设有圆形观察窗。隔离阀座为隔离阀了及活动空间，隔离阀的作用是为籽晶或单晶进入副炉室的通道，同时可以维持上下炉室的局部压力和温度。隔离阀是翻板阀结构，阀板和阀体均是固定式双层结构，通水冷却。隔离阀座侧面设有两个籽晶位置检测窗口（激光），后部有一个氩气入口，可以实现快充氩气。5、副炉室副炉室为圆筒形腔体，双层结构，水冷却。副炉室上部前方设有一个圆形法兰，可以打用于腔体上部，法兰设有圆形观察窗。进一步地，所述加热器4与加热片10为并联。之所以设置成并联是为了实现对加热片10的单独控制，进而实现对上反射屏5和保温屏9的温度调节，减少挥发物的沉积。

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无泄露，长期使用不需充磁，精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件，确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试，高速旋转下籽晶晃动小于2mm，适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱，双滚动直线，精密滚珠丝杠以及进口等能件组合设计，确保坩埚系统在超重超低速工况下长期平稳运行。籽晶轴旋转及提拉密封均采用高品质的磁流体密封组件提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性浮动式翻板阀设在主副炉室之间。需考虑降容系数。水平母线及低压进线断路器的选择：水平母线规格的选择与很多方面有关，考虑的几个主要方面是：环境温度，关柜的通风情况（防护等级）。另外电源接入点的大短路容量及短路阻抗。海拔高度大于2000米时大负载电流，正常负载电流，水平母排的布置方式，投入资金限制等。水平母线具体规格需参照具体低压关柜母线布置方式，使用环境条件等因数，参照关柜相关技术参数选择。直接将断路器作手柄凸出到内门外，柜门上直接断路器作手柄，柜外作，采用固定分隔柜，水平母线室与单元之间，单元与单元之间加隔离防护，采用抽屉柜，单元与母线室，接线端子完全隔离。要对带电部件的防护方式到了解，其中，有几下几种方式可供选择。