直拉式长晶炉沧浪plc编程维修/保养5其特征在于所述气流导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口(13)通过通气管(19)相连通。7，根据权利要求6所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流导向装置(20)由石墨制成。其包括中轴孔，一对电极孔，以及与排气口相对的通气孔，石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，所述电极柱分别穿过所述电极孔，排气口与气流导向装置的各通气孔相连通。本发明了一种直拉式单晶生长炉氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。与氩气输入管相连通的环形气体分布器，其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×10³Pa0.9×10³Pa。电气工程（Electrical Engineering，简称EE）是现代科技领域中的核心学科之一，更是当今高新技术领域中不可或缺少的关键学科。正是电子技术的巨大进步才推动了以计算机网络为基础的信息时代的到来，并将改变人类的生活，工作模式。电气工程的发展前景同样很有潜力，使得当今的业比率一直很高。

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