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发布:2024/4/28 19:04:47 来源:shxj365


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炉室结构为顶升式,主炉室和副炉室启时由液压传动装置实现上移。以石墨电阻加热器,将硅半导体材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。它可以生产大规模太阳能电池,集成电路所需要的高品质硅单晶。是根据用户实际需求研发的新产品。是在流动惰性气体环境中TD-800型软轴提拉型单晶炉单晶炉主机系统包括:底座立柱炉室和副炉室之间,设有浮动式翻板阀室,可在现场维持工艺温度的情况下,取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。新型翻板阀结构,拱形封头式炉盖结构,考虑热变形采用浮动提升结构,防止卡死现象。单晶提拉采用可承受150Kg不锈钢丝软轴,电控系统采用微机控制,红外测径技术,进口电动及驱动器。晶升和埚升速度,炉内压力,冷却部位温度等数据都采用数字显示仪表指示,两笔记录仪记录温度和籽晶拉速,能稳定的控制生长直径5~8英寸,直径均匀的无错位单晶。

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水平母线具体规格需参照具体低压关柜母线布置方式,使用环境条件等因数,参照关柜相关技术参数选择。所述坩埚3、坩埚盖2、上反射屏5和加热器4设有耐高温的温度传感器。

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