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这是单晶炉和拉晶工艺。为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤，th3orum级的基础上跳跃到12公斤，680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计。

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一种蓝宝石单晶炉，包括:设有炉盖11的炉体1，炉盖11上设有图中未视出的观察窗；所述炉盖11上设有真空部件12，所述真空部件12的数量为两个，围绕炉盖的对称设置，所述真空部件12设有除尘系统；所述真空部件配合真空计使用，根据真空计指针的指向确定是否需要抽真空；如果真空计指向不准确或者不设置真空计的话，可以根据晶体的反应时间或者温场的变化来决定是否抽取真空。所述坩埚3、坩埚盖2、上反射屏5和加热器4设有耐高温的温度传感器。