二手长晶炉设备回收+上海涡轮分子泵回收的厂家
发布:2024/5/1 4:36:58 来源:shxj365单晶炉,长晶炉,多晶硅炉,半封闭母线槽,插接式母线槽,水冷空调、制冷设备,冷凝器、电容柜,电线电缆,配电箱、电梯、空压机、高压关、互感器、UBS电瓶、电动机、压缩机、机械设备、厨房设备、酒店设备、公设备、电抗器、稳压器、高压柜、低压柜、启动柜,发电机组, 生产线,活动房,配电柜,收购器,冷凝器,叉车, 行车,厂区行车,集装箱等等
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采用软籽晶轴。精度高,稳定性好。且具有以下特点:温度自动控制系统\电机调速控制系统\单晶直径自动控制系统\单晶熔体自动 系统\单晶重量及长度显示功能\各拉晶有关参数包括籽晶轴。功能全电控系统采用微机控制坩埚轴的转动速度具有独特的晶体提升机构。的磁流体密封技术保生长大扭矩高稳定性。热场系统和炉内各部。炉体部件采用316L不锈钢,法兰整体锻造,经过振动应力,缺陷检查和探伤检验及氦质朴检漏仪检漏。可在热场维持工艺温度的情况下,取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。液压传动装置能准确的完成主炉室和副炉室的启,炉室,副炉室上升到位后对称旋出,保主机稳定可靠。适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱,双滚动直线,精密滚珠丝杠以及进口等功能件组合设计,确保坩埚系统在超重超低速工况下长期平稳运行。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵, 单晶棒等径控制是单晶炉控制的。单晶直径在生长过程中课受到温度、提拉速度与转速、坩埚 速度与转速、生长物理环境、保护气体的流速与温度、冷却水流的流速与温度等因素的影响。归纳起来,无外乎是热场波动和生长速度变化两大类。因此,炉内热场设置,生长温度补偿、速度等参数选配是控制单晶外形的基本条件,炉内热场和生长速度的控制是单晶等径控制的。由于影响单晶等径生长的因素较多,控制对象数学模型难以建立,且这些因素本身以及它们之间的关系是模糊的、不确定的。系统具有非线性、时和大惯性的特征。因而,单晶炉单晶等径生长控制采用模糊控制策略是比较合适的。
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