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发布:2024/4/27 22:05:36 来源:shxj365


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直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000,CG6000,KAYEX100PV,KAYEX120PV,KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg。已成为半导体行业使用多的品牌。美国国外以美国KAYEX为代表该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前上大,的硅单晶体生长炉商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场晶体产品的完整 50kg,300kg。提高稳定性。支撑柱在炉体支撑的上面,便于下面设备的维护。

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耐构件   1. 分为周期式及连续式两大类 2. 周期式炉的特征:A. 炉料同时加入同时取出 B. 加热时炉料基本不动(特殊情况除外:如滚筒炉。炉衬工业炉:分为电炉和燃烧炉(狭义的工业炉指燃烧炉)2. 主要产品七大类:电阻炉。整个炉内不存在排气 不畅的地方,即不存在排气死角,既有效地防止了一氧化硅气体对加热器 和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀,还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉 尘减少30%以上,从而确保了该炉的使用寿命,使所述石墨器件的使用寿 命从原来的90炉次提高11G炉次以上,另外还可对硅晶体的生长过程起 到稳定作用,使平均成品率从原来的65%提高68%以上,并可提高单晶 的内在质量。

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