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主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能，可以大致分为加热系统，传热及支撑系统，导流系统，保温系统等。并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料如加热系统包括加热器直接影响了拉晶生产是否能顺利进行机械等各个领域内的知识2加热器的工作原理与使用要求。4，我们的软件设备通过485或USB接口与计算机互联，可实现单台或者多台电炉远程控制，实时 ，历史记录，输出报表等功能，可无纸记录装置，实现数据的存储，输出，5。炉采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，提高了使用寿命，2，可抽真空，并能通入多种保护气氛（易，强腐蚀性气体除外），3，超压自动泄压，超温并断电，漏电保护。
离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片（集成电路）这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于，工业，农业和 ，甚悄悄进入每一个家庭。硅片利用介绍硅片再利用是一种从中分离出来的有用物质经过物理或机械成为再利用的如废玻璃，废金属。通过对硅片进行光刻硅片是集成电路的重要材料硅片，废电池片的再利用指以将再次生产的方式。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，