二手多晶硅长晶炉马鞍山分子泵的直接有效的方法是提高生产时效，增加单炉的月产能。笔者长期从事单晶生产工作，经调研与现场试验，采用离线装料技术不仅可以缩短运行周期，提高工作效率，而且可以确保坩埚内所装硅料的洁净度，具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封。加热后工件随炉冷却 C． 井式炉 D． 罩式炉（主要用于退火，加热罩可吊移）　E． 底升式罩式炉（罩子固定，升降底座，适用于大型炉子）F． 转筒式炉 G． 密封箱式炉（又称为多用炉，可进行渗碳，光洁淬火，碳氮共渗等热工艺。采用辐射管加热，辐射管是由耐火陶瓷盘固定的电阻丝装于一个密封耐热钢管中。用作退火之用周期式电阻炉的分类A． 箱式炉 B． 台车炉（分为自行式和牵引式）这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响）。

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无泄露，长期使用不需充磁，精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件，确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试，高速旋转下籽晶晃动小于2mm，适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱，双滚动直线，精密滚珠丝杠以及进口等能件组合设计，确保坩埚系统在超重超低速工况下长期平稳运行。籽晶轴旋转及提拉密封均采用高品质的磁流体密封组件提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性浮动式翻板阀设在主副炉室之间。双立柱\双层水冷式结构炉体\水冷式阀座\晶体提升及旋转机构\坩埚提升及旋转机构\氩气系统\真空系统及自动炉压检测控制\水冷系统及多种安全保障装置\留有二次加料口2，加热器电源：全水冷电源装置采用电源或原装进口IGBT及超快恢复二极管等率器件。配以高频变压器，构成新一代高频关电源。采用移相全桥软关（ZVS）及CPU控制技术，提高了电能转换效率，不需要率因数补偿装置。3。主机部分：机架基本介绍编辑1计算机控制系统：采用PLC和上位工业平板电脑PC机，配备大屏幕触摸式HMI人机界面，高像素CCD测径ADC系统和具有知识产权的“全自动CZ法晶体生长SCADA系统”，可实现从抽真空—检漏—炉压控制—熔料—稳定—溶接—引晶—放肩—转肩—等径—收尾—停炉全过程自动控制。