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发布:2024/5/12 12:37:56 来源:kaitezhang
超材料是具有天然材料所不具备的超常物理性质的人工复合结构或复合材料,它们在超快光调制、负折射率、倏逝波传播、反常多普勒效应、亚波长成像、隐身、全光通信、光子晶体等领域具有重大应用价值。然而,超材料的问题一直是个难题。目前常见工艺有电子束光刻、激光直写、聚焦离子束刻蚀、模版辅助的电化学沉积等,这些方法有难以大面积、成本高、工艺流程繁琐冗长且难于控制等不足。特别以模版辅助电化学沉积为例,受制于模版本身尺寸所限,超材料的微结构几何特征尺寸难以进入1nm范围内,而且需要导电衬底,所得材料还有化学残留之虞。


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